赫爾納供應SEMCO退火爐SEMCO 集團是應用于光伏太陽能電池量產的減壓加工的先驅,并擁有與該技術相關的技能。該公司幾年前就開始提供當前的標準,當時高效光伏和大規(guī)模生產仍是抽象概念。通過應用公司在半導體行業(yè)制定和驗證的專有原則,SEMCO 集團為當今光伏市場中電池制造商的需求鋪平了道路。因此,SEMCO 集團不斷創(chuàng)新以滿足客戶需求,專注于改進磷和硼發(fā)射極擴散、熱 SiOx 和 AlOx 生長以及 SiNx 沉積。我們的業(yè)務部門 SEMCO Group PVE 提供具有成本效益的解決方案,可提高太陽能電池性能、優(yōu)化生產線吞吐量并降低運營費用。
赫爾納供應SEMCO退火爐廠家優(yōu)勢:
減壓擴散間歇式管式爐,使用 POCl3 或 BCl3
應用還包括退火、氮化物、氧氮化物、多晶硅和 TEOS。
減壓氧化間歇式管式爐,濕(去離子水)或干(H2)配置
用于 SiNx 和 AlOx 沉積、鈍化和 PDA 的直接 PECVD 批量式管式爐
用于單面 c-Si 織構和拋光的等離子蝕刻間歇式管式爐
從晶圓到組件的垂直集成光伏生產線
對客戶員工進行生產系統(tǒng)操作的培訓
生產系統(tǒng) 24/7 運行所需的消耗品和備件
工藝和生產階段的優(yōu)化
維護服務,包括升級和翻新設備。
產品簡介:
JETLIGHT 是 Jipelec 入門級軟件控制臺式快速熱退火 (RTA) 系統(tǒng)。JETLIGHT 是一種緊湊而堅固的高速熱處理系統(tǒng),適用于各種材料基板和結構(鋼、玻璃、c-Si 太陽能、III-V、II-VI、鍺、超導體)的快速熱退火 (RTA)和陶瓷),最大尺寸為 2 英寸直徑。(50 毫米)。JETLIGHT 的規(guī)格和功能滿足希望在多用戶環(huán)境中啟動 RTP 的大學和研究中心的要求。該爐配備了管狀石英反應室,因此可以處理最大長度為 150 毫米的三維樣品。該過程在大氣壓或真空下(使用或不使用氣體)進行。PID 系統(tǒng)可在整個溫度范圍內提供準確且可重復的熱控制。?
SEMCO退火爐特征:
熱壁室設計。
基板尺寸可達 50 毫米直徑。和 150 毫米長。
微處理器控制的晶閘管技術
最多兩 (2) 條氣體引入線
大氣和真空處理能力。
專用的過程控制軟件。
SEMCO退火爐應用:
植入物和觸點的快速熱退火 (RTA)
快速熱氧化 (RTO) 和氮化 (RTN)
快速熱擴散 (RTD) - 例如旋涂摻雜劑
結晶、致密化和結構應力松弛
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